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APT(Advanced Plasma Technologies)は、
ダイヤモンドを合成(製造)するための、熱フィラメント兼用プラズマ電極を用いたVHFプラズマCVD装置を創出しました。
究極のパワー半導体として注目されているダイヤモンド半導体は、従来、マイクロ波プラズマCVD装置で合成(製造)されていますが、
この装置では、面積が4インチ級基板への対応が困難です。4〜5インチダイヤモンド基板への対応が可能なダイヤモンド合成装置の創出が求められています。
上記熱フィラメント兼用プラズマCVD装置は、4〜5インチ級ダイヤモンド基板への対応が可能です。下記pdf資料をご覧ください。
ダイヤモンド合成用マイクロ波CVD装置の特許技術と課題(PDF資料)
ダイヤモンド合成用熱フィラメントCVD装置の特許技術と課題(PDF資料)
大面積ダイヤモンド基板に関する特許技術と課題(PDF資料)
熱フィラメント兼用プラズマ電極を用いたVHFプラズマCVD装置(PDF資料)
シリコン系薄膜形成のためのプラズマCVD装置の原理、特徴及び設計・製作における留意事項(PDF資料)
大面積VHFプラズマCVD装置に関する代表的な特許技術(PDF資料)
Cat−CVD装置の原理と特徴(PDF資料)
薄膜形成に用いられる水素プラズマの特性、効用・副作用(PDF資料)
ご興味ある方は、どうぞご一報ください。
お問い合わせ・ご質問等 E-mai:apt@ngs2.cncm.ne.jp
APT代表 村田正義
〒852−8027
長崎市城山台2丁目10の5
apt@ngs2.cncm.ne.jp
更新日2024年1月28日
【大気圧プラズマ殺菌処理装置】 細菌・カビ菌・カビ毒を除去するための迅速・大量処理が可能な大気圧プラズマ殺菌処理装置の実用機を研究中です。 APTでは、「APT独自のプラズマ殺菌装置」を創出しました。その概要を次のPDF資料に示します。ご覧いただければ幸いです。 【1】プラズマ殺菌装置に関するAPT保有の出願特許、ご紹介(PDF資料) 【2】低コスト・大量処理に適したプラズマ殺菌装置に関する出願特許技術:特開2020−006261(PDF資料) 【3】低コスト・大量処理に適したプラズマ殺菌装置に関する出願特許技術:特開2019−209170(PDF資料) ご興味ある方は、どうぞご一報ください。 お問い合わせ・ご質問等 【農産物の細菌・カビ菌・カビ毒を除去するための大気圧プラズマ殺菌処理装置】 種子・コメ・野菜等の農産物、特に、輸入米・輸入野菜を大量に、低コストで、迅速に、ムラ無く、確実に殺菌可能な 大気圧プラズマ殺菌処理装置の実用機の創出を目指して、研究開発中です。APT方式の出願特許を、近々、公開の予定です。 農産物の細菌・カビ菌・カビ毒の現状及びプラズマ殺菌装置の特許技術の代表例を以下に示します。 【0】大気圧プラズマ殺菌処理装置の応用に関する調査及び検討(PDF資料) 【1】大気圧プラズマ殺菌処理装置に関する特許技術の調査結果(PDF資料) 【2】プラズマ殺菌技術の研究に関する調査結果(PDF資料) 【3】大気圧プラズマ殺菌処理装置に関するAPT保有の出願特許(PDF資料) 【4】大気圧プラズマ殺菌処理装置に関する出願特許:特開2019−209170(PDF資料) お問い合わせ・ご質問等 APT代表 村田正義 〒852−8027 長崎市城山台2丁目10の5 apt@ngs2.cncm.ne.jp 【APT保有の特許】下記参考資料をご参照ください 大面積VHFプラズマCVD装置に関する特許(定在波重畳法/6件) 特許第4264962号(村田正義) 特許第4547711号(村田正義) 特許第4022670号(村田正義) 特許第4026181号(村田正義) 特許第4120831号(村田正義) 特許第4207131号(村田正義) ●APTは、各種プラズマプロセスに関する課題解決へのアイデイア創出等についてのご支援・ご助言に取り組み中です。 ●また、新規応用を目指したプラズマCVD装置等の研究開発支援・コンサルティング・講演等に積極的に取り組み中です。ご用命・ご活用下さい。 APT代表 村田正義 〒852−8027 長崎市城山台2丁目10の5 apt@ngs2.cncm.ne.jp |