【ＶＨＦプラズマ技術分野】
●大面積・均一・高速製膜＆エッチング、電力損失防止等に貢献可能
１．特許第３５７５０１１号
（特願２００３−１９１７５２：プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
２．特許第３５７５０１３号
（特願２００３−２７４４０８：高周波電力供給用同軸ケーブルと、該同軸ケーブルにより構成される
プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
３．特許第３５７５０１４号
（特願２００３−２８２５２４：高周波プラズマ発生用電極と、該電極により構成された
プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
４．特許第３６３７４４７号
（特願２００４−１１７４５１：高周波プラズマ生成用平衡不平衡変換装置と、該平衡不平衡変換装置により
構成されたプラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
５．特許第３５９０９５５号
（特願２００４−１５５７４１：平衡伝送回路と、該平衡伝送回路により構成されたプラズマ表面処理装置
及びプラズマ表面処理方法）
【ナノ粒子製造技術分野】
●分散性向上・回収率向上に貢献可能
１．特願２００４−０１９２０４
２．特願２００４−０４０７４６
３．特願２００４−０６３９１９
以上