A、本質的問題である定在波（standing wave）の発生
（１）電極サイズがλ／４以上であれば、進行波と反射波が干渉し、定在波が発生する。その結果、電極間の電界の強さの分布は正弦波状となり、プラズマの強さも同様の分布になる。
（２）また、インピーダンス整合器と電極の間の同軸ケーブルの長さがλ／４以上であれば、上記理由により定在波が発生する。
（３） プラズマ中のλ／４の値は下記（真空中の値）の約０．５〜０．７倍（プラズマ密度が大きければ、λは真空中の値より短くなる）と見込まれる。
●１３．５６ＭＨｚの場合・・・・５．５ｍ（λ＝２２．１ ｍ）
●３０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２．５ｍ（ １０ ｍ）
●６０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１．２５ｍ（ ５ ｍ）
●７０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１．０７ｍ（ ４．２ ｍ）
●１００・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．７５ｍ（ ３ ｍ）
●２００・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．３７５ｍ（ １．５ ｍ）
●３００・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．２５ ｍ（ １ ｍ）
【参考１： 同軸ケーブルを伝播する電力波の概念図】
【参考２： 定在波発生の概念図】
B、学術文献に見られる定在波（standing-wave）問題の研究成果
（１） J.Kusuke et al : Power Feeding in Large Area PECVD of Amorphous Silicon 、
Mat. Res. Soc. Symp. Proc. Vol.. 377(1995), 27-32
（２） A. Perret et al : Ion Flux Nonuniformities in Large-Area High-Frequency Capacitive Discharges 、
Applied Physics Letters, Vol.. 83, No. 2(2003), 243-245.
（３） L. Sansonnens et al : A Voltage Uniformity Study in Large-Area Reactors for RF Plasma 、
Plasma Sources Sci. Technol. 6(1997) 170-178.
