実施権開放中のＡＰＴ所有特許
●下記特許に関し、譲渡ご希望があればご相談に応じます。
ＶＨＦプラズマ技術分野で活用可能な最新の特許
●大面積・均一・高速製膜＆エッチング、電力損失防止等に貢献可能な特許である。
１．特許第３５７５０１１号
（特願２００３−１９１７５２：プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
２．特許第３５７５０１３号
（特願２００３−２７４４０８：高周波電力供給用同軸ケーブルと、該同軸ケーブルにより
構成されるプラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
３．特許第３５７５０１４号
（特願２００３−２８２５２４：高周波プラズマ発生用電極と、該電極により
構成されたプラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
４．特許第３６３７４４７号
（特願２００４−１１７４５１：高周波プラズマ生成用平衡不平衡変換装置と、該平衡不平衡変換装置により構成されたプラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
５．特許第３５９０９５５号
（特願２００４−１５５７４１：平衡伝送回路と、該平衡伝送回路により構成された
プラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法）
以上
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