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最近の講演資料１
㈱技術情報協会主催のセミナー：平成１６年５月２７，２８日
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講演テーマ：ＶＨＦ（超高周波）プラズマ技術の大面積表面処理への応用

●講演概要：「下記疑問への回答」を説明する内容となっている。
●詳細は、有料にて頒布中の講演資料（ＣＤ－Ｒ）を参照方。
●お問い合わせ

１　半導体プロセス用プラズマ源の種類と進展小史上のキー技術
（ＶＨＦプラズマのルーツ）
（プラズマＣＶＤ，スパッタリング、エッチング、表面改質、プラズマ重合等において）
●プラズマの大面積化、高密度化、均一化、一様化の技術はどのように進展してきたのか？
●キー技術は何か？

２　特許事例に見る大面積半導体プロセス用プラズマ技術の問題点の所在と解決策
（ＶＨＦプラズマに関する特許の課題と解決策）
●生産性向上及び競争力強化を目指して、多種多様の特許が出願されている。
●課題は何か、解決策は何か？
●数々のアイデイアのポイントは何か？

３　ＶＨＦプラズマの特徴
（長所・短所）
●ＶＨＦプラズマの長所は何か？
●短所は何か？
●短所は改善できるのか？

４　装置開発に便利なプラズマ可視化装置
　（ＶＨＦプラズマに関するアイデイア・ヒントの簡便な実験装置）
●プラズマＣＶＤ装置及びプラズマエッチング装置等の研究開発に関して、装置開発のスピードアップに便利な開発ツールはないのか？
●プラズマ可視化装置とは何か？
●役に立ちそうか？

５　ＶＨＦプラズマ技術の太陽電池製造への応用
●ＶＨＦプラズマの太陽電池製造への応用はどこで開拓されたのか？
●ＶＨＦプラズマによる太陽電池製造のメリットは何か？
●今後の発展は期待できるか？

６　究極の大面積ＶＨＦプラズマ生成装置の提案
●ＶＨＦプラズマ分野での超大面積（基板サイズ１．４ｍｘ１．１ｍ）・均一・高速製膜の成功例は、ラダー電極（三菱重工）以外は見当たらない
●ラダー電極以外では、不可能か？
●平板電極を用いた超大面積基板対応のＶＨＦプラズマ生成装置の具体案とは？

７　まとめ
●ＶＨＦプラズマ・・・・太陽電池、ＴＦＴ及び各種光電子デバイス（主としてａ－Ｓｉ：Ｈ及びμｃ－Ｓｉ：Ｈ等薄膜)等の製造に実用中
●ＶＨＦプラズマは、特に、ａ－Ｓｉ／μｃーＳｉタンデム構造の太陽電池製造に不可欠の技術
●ＶＨＦプラズマの課題：高速化・大面積化・均一化・一様化・高品質化及び電力損失防止は、依然として、当面の重要課題
●ＶＨＦプラズマの実用化玉成には、ガス流・熱流を含めた総合的プラズマ制御技術の更なるブレークスルーが必要

以上