●プラズマ及び電力供給系の等価回路
ＶＨＦプラズマ生成装置での本質的問題点及びその対応のヒント（２／５）
本質的問題点
（１）インピーダンス整合器と電極の間の同軸ケーブルの長さがλ／４以上であれば、定在波が発生
（２）電極サイズがλ／４以上であれば、定在波が発生
（３） λ／４の値
●１３．５６ＭＨｚの場合・・・・５．５ｍ（λ＝２２．１ ｍ）
●３０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・２．５ｍ（ １０ ｍ）
●６０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１．２５ｍ（ ５ ｍ）
●７０・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１．０７ｍ（ ４．２ ｍ）
●１００・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．７５ｍ（ ３ ｍ）
●２００・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．３７５ｍ（ １．５ ｍ）
●３００・・・・・・・・・・・・・・・・・・０．２５ ｍ（ １ ｍ）
ＶＨＦプラズマ生成装置での本質的問題点及びその対応のヒント（３／５）
対応のヒント
（１）誘電体中の電磁エネルギーＰの伝送
Ｐ＝ＥｘＨ、Ｅ、Ｈ：誘電体中の電界、磁界
（２）高周波エネルギー伝送システムにおいて、
●導体の役割：誘電体中に電界と磁界を作る案内媒体
●誘電体の役割：電磁エネルギーＰの伝送媒体
（３）導体は、往路・復路に分かれて、少なくとも２本が必要
（４）２本の平行な導線が無い場合、外部へ電磁波を放射
ＶＨＦプラズマ生成装置での本質的問題点及びその対応のヒント（４／５）
対応のヒント
（１）同軸ケーブルの電磁界分布
（２）伝送路の長さがλ／４以上であれば、即ち１ｍｘ１ｍ級超大面積プラズマ生成の応用では、定在波の発生は避けられない
→定在波の発生の形態を制御することが肝要
ＶＨＦプラズマ生成装置での本質的問題点及びその対応のヒント（５／５）
●高周波電界における放電開始電圧（Ｐａｓｃｈｅｎ則）
●Ｖ＝ｆ（ｐｄ、ｆｄ）
●数１０ＭＨｚ~数１００ＭＨＺは、電子も放電空間にトラッピングされるので、放電開始電圧は低い
平行平板電極を用いたＶＨＦプラズマ生成の問題点の所在
●電磁エネルギーの伝送形態に無理がある？
●給電部の構造？
（形は容量結合的）
●電極間での電界分布？
●スロットアンテナ的？
（電極周辺がスロットアンテナ）
大面積・均一製膜を目指したＶＨＦプラズマ技術のポイント
●電磁エネルギーの伝送形態に無理がない
●給電部の構造がシンプル
(容量結合的）
●電極間での電界分布がシンプル
VHFプラズマ生成技術： 残された課題
漏洩電流の抑制・電力損失防止（１／２）
VHFプラズマ生成技術： 残された課題
漏洩電流の抑制・電力損失防止（２／２）
円筒管を用いた漏洩電流の抑制（シュペルトップ型）
